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1690年，法国工程师巴本（Denis Papin，1647－1712）制成了第一台活塞式蒸汽机，它依托蒸汽推进汽缸上升，在汽缸下落过程中输出动力。
1698年，英国铁匠塞维利（Thomas Savery，1650－1715）在闻名物理学家胡克的协助下，创造晰世界上第一台有用的蒸汽泵，用于矿山排水。
1705年，英国工程师纽科门（Thomas Newcomen，1663－1729）归纳了巴本和塞维利蒸汽机的长处，规划了更为先进和有用的蒸汽机，敏捷在英国的矿山和煤场中推行运用。但纽科门的蒸汽机只能做缓慢的往复运动，运用场景规模很有限。
1763年，英国机修工瓦特（James Watt，1736－1819）在修理一台纽科门蒸汽机时，萌发了改善和规划蒸汽机的想法。他相继创造和规划了分离式冷凝器、可调节阀门、汽缸绝热层、行星式齿轮、平行运动连杆机构、离心式调速器、压力计等，于1769年制作出第一台样机，其能效比纽科门蒸汽机提高了5倍以上。
后来，瓦特又创造晰旋转式蒸汽机，并使蒸汽机成为遍及的运用的通用动力装置。蒸汽机推进了第一次产业革命的开展。自18世纪末，蒸汽机在采矿、锻炼、纺织、机器制作、交通等职业中敏捷推行。1807年，美国的富尔顿制成了第一艘有用的蒸汽机轮船“克莱蒙脱”号，完成了船只的动力化。1829年，英国的斯蒂芬森制作了“火箭”号蒸汽机车，创始了铁路年代。19世纪末，蒸汽机又成为火力发电厂中的首要动力机械。
